村田機械株式会社

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半導体工場向け搬送システム[高密度レチクルストッカー]

半導体工場向け搬送システム

高密度レチクルストッカー CDRX(Clean Depot Reticle/POD Stocker)

プロセスの微細化に伴いレチクルヘイズ(くもり)結晶成長欠陥への対応が必要となってきています。CDRXはReticleガラスとPODを別々に保管するコンビネーション保管システムです。 ReticleガラスはCDA、N2パージによりレチクルヘイズ、結晶成長欠陥を妨げます。またオプションの免震機能により、震災による破損からレチクルを守ります。

 

CDRX(Clean Depot Reticle/POD Stocker)

サイクルタイム

入庫60sec.

レチクル保管数
(パージ保管)

1,920枚

POD保管数
(オプション:パージ保管)

60個

レチクル保管

専用容器での保管

保管時清浄度

ISO CLASS 1

免震機能

(オプション)

南北:633ガル
東西:786ガル相当
(東日本大震災レベル)

   

 

 

CDRX(Clean Depot Reticle/POD Stocker)

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