
FPDパネル用カセットを保管するストッカーへ、入出庫を行うスタッカークレーンは、振動低減や発塵の抑制など、ガラス基板の品質を確保しながら、大型化するFPDパネルを迅速かつ安全に搬送します。
スムースな加減速、高速化のために、高度なモーションコントロール技術を駆使しています。犬山事業所内に0.3ミクロン/クラス10のクリーンルームを設置しました。
温度、気流シミュレーションだけでなく、実機にて走行および移載による発塵状態や気流への影響をより現場レベルに近い状況で検証することで、製品品質の維持と向上を図っています。