村田機械株式会社

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半導体工場向け搬送システム[OHS]

半導体工場向け搬送システム

OHS(Over Head Shuttle 天井走行式シャトル)

天井に設置した軌道を走行する自動搬送装置です。
OHSとはOverHead Shuttleの略です。主に製造プロセス群(成膜、洗浄等)用に各々配置された保管設備(ストッカー等)間の搬送を受け持つ為、工程間搬送装置と言われる事もあります。

OHS(Over Head Shuttle 天井走行式シャトル)OHS(Over Head Shuttle 天井走行式シャトル)
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