村田機械株式会社

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半導体工場向け搬送システム[キャリア保管ストッカー装置]

半導体工場向け搬送システム

キャリア保管ストッカー

クリーンルーム内の一時保管庫で、製造装置の処理完了タイミングと次工程製造装置の処理開始タイミングのズレを吸収するためなどを目的とします。
FOUPやRSPなどのキャリア保管ストッカーの他にも、装置前バッファ(TS300)や高密度保管かつパージ機能を有するレチクルストッカー(CDRX)など、用途に応じた幅広いバリエーションを用意しております。

ストッカー装置
ストッカー装置ストッカー装置
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