村田機械株式会社

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半導体工場向け搬送システム[OHT]

半導体工場向け搬送システム

OHT(Overhead Hoist Transfer 天井走行式無人搬送車)

天井に設置した軌道を走行し、ベルト駆動で上下するホイスト機構により保管設備や製造装置のロードポートに"ダイレクトに"アクセスする自動搬送装置です。
OHTとはOverhead Hoist Transferの略です。300mm半導体工場以降の主力搬送システムとして広く認知されており、現在では工程内搬送のみに留まらず工程間や工場間搬送にまで利用されているケースもあります。

OHT(Overhead Hoist Transfer 天井走行式無人搬送車)OHT(Overhead Hoist Transfer 天井走行式無人搬送車)
OHT(Overhead Hoist Transfer 天井走行式無人搬送車)
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