事業概要

  • ロジスティクス&オートメーション
  • クリーンAMHS
  • 工作機械
  • シートメタル加工機
  • 繊維機械
  • 情報機器
  • 制御機器

クリーンFA

効率・精度・信頼性の高い搬送システムの提供により
半導体製造の生産性向上に貢献します。

誕生からわずか半世紀、半導体は急速な発展を遂げ、現代の人類にとって絶対不可欠なものに成長しました。現在も技術革新が進む半導体製品の製造技術は、より一層の性能・品質そして生産性の向上が求められています。高度に管理されたクリーンルーム内のマテリアルハンドリング設備は、発塵を許されないだけではなく、高度に自動化された生産工程の中で、絶対の信頼性が求められます。

生産システムの自動化・無人化に対するノウハウを永年蓄積してきたムラテックは、早くからクリーンルーム用の各種搬送システムや保管設備などのクリーンFAシステムを提供してきました。

村田機械のクリーンFA事業とアシストテクノロジーズジャパンの同事業を統合し、2009年8月に設立したムラテックオートメーション株式会社を、2012年4月に村田機械に統合。今後はクリーンFA事業部として、さらに良い製品・サービスの提供を通じて、半導体の生産性・信頼性を高め、社会の発展に貢献して行きたいと考えています。

半導体工場向け搬送システム
OHT/OHS(天井走行式無人搬送車)
AGV(無人搬送車)
RGV(有軌道式無人搬送車)
ストッカー装置
  FOUPストッカー
  レチクルストッカー
  高密度ウェハーストッカー
  装置前バッファー
搬送制御・管理システム(MCS)
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