事業沿革
クリーンFA事業の沿革
| 1985年 | 物流システム部(現L&A事業部)内にクリーン技術部発足 |
|---|---|
| 1986年 | 「スカイラブクリーン」開発
クリーンルーム向け搬送機器分野に参入 |
| 1989年 | 多関節ロボット搭載無人搬送車「モービルロボット」開発 ![]() |
| 1993年 | 液晶パネル工場向け搬送システムを納入 |
| 1997年 | クリーンシステム事業部設立 |
| 1998年 | 世界初300mmウエハ製造ライン向け搬送システムをドイツの半導体メーカーから受注 |
| 2002年 | 物流システム事業部とクリーンシステム事業部を統合し、L&A事業部を設立 |
| 2002年 | 神鋼電機(現シンフォニアテクノロジー)のクリーンルーム向け搬送システム事業が独立、米アシストテクノロジーズ社と共同で「アシストシンコー(株)」設立 |
| 2003年 | OHT「SRCシリーズ」開発スタート |
| 2009年 | アシストテクノロジーズジャパン(株)より事業譲受 クリーンシステム事業部と統合し「ムラテックオートメーション(株)」を設立 |
| 2009年 | 装置前FOUPバッファ「TS300」発売 |
| 2012年 | ムラテックオートメーション(株)を村田機械に統合し、クリーンFA事業部を設立 |
| 2014年 | 犬山事業所内に実験・ショールーム棟「テクノスクエア」完成 |
| 2015年 | OHT(天井走行式無人搬送車)「G3-3X」発売 ![]() |
| 2017年 | OHT(天井走行式無人搬送車)「SRC-350X」発売 |
| 2018年 | 伊勢事業所を移転 |
| 2019年 | ベアウエハストッカー「CDWX」発売 ![]() |












