事業沿革

クリーンFA事業の沿革

1985年 物流システム部(現L&A事業部)内にクリーン技術部発足
1986年

「スカイラブクリーン」開発  クリーンルーム向け搬送機器分野に参入 SKYRAV Clean

1989年 多関節ロボット搭載無人搬送車「モービルロボット」開発 モービルロボット
1993年

液晶パネル工場向け搬送システムを納入 液晶パネル工場向け自動搬送システム

1997年 クリーンシステム事業部設立
1998年

世界初300mmウエハ製造ライン向け搬送システムをドイツの半導体メーカーから受注  300mm対応

2002年 物流システム事業部とクリーンシステム事業部を統合し、L&A事業部を設立
2002年

神鋼電機(現シンフォニアテクノロジー)のクリーンルーム向け搬送システム事業が独立、米アシストテクノロジーズ社と共同で「アシストシンコー(株)」設立

2003年 OHT「SRCシリーズ」開発スタート 
2009年

アシストテクノロジーズジャパン(株)より事業譲受  クリーンシステム事業部と統合し「ムラテックオートメーション(株)」を設立

2009年

装置前FOUPバッファ「TS300」発売 TS300

2012年

ムラテックオートメーション(株)を村田機械に統合し、クリーンFA事業部を設立  ムラテックオートメーション

2014年

犬山事業所内に実験・ショールーム棟「テクノスクエア」完成  テクノスクエア

2015年 OHT(天井走行式無人搬送車)「G3-3X」発売 G3
2017年

OHT(天井走行式無人搬送車)「SRC-350X」発売 SRC350

2018年

伊勢事業所を移転  Ise Plant

2019年 ベアウエハストッカー「CDWX」発売 CDWX