製品情報
- 半導体工場向け搬送システム
- 保管・バッファ装置
- キャリア保管ストッカー
- ベアウエハストッカー
- OHB軌道バッファ
- 装置前FOUPバッファ
- N2パージ
- 搬送制御・管理システム
半導体工場向け搬送システム 【保管・バッファ装置】
装置前FOUPバッファ Tool Station TS300
装置前に後付け可能なFOUPバッファで生産ボトルネックに対応
製造装置のロードポートにかぶせる形で設置するバッファ装置です。
Tool Station はSEMI規格E15.1に準拠した装置に対してであれば、新ライン既存ライン問わず設置が可能です。
製造装置に最も近い位置でキャリア(FOUP)がバッファされ、また装置各々に独立した移載装置を設置する事により、処理完了FOUP取り去りから次処理FOUP供給まで、いわゆる「FOUP入替時間」の短縮を実現し、検査時間の短い検査装置の稼働率向上などを志向しています。
TS300
- 4列×3段バッファ(最大)にて一時保管
- N2パージ対応可能(オプション)
- メンテナンス時の取り外し、再設置が容易で各10分以内で可能。
TS300 システム仕様
サイクルタイム | 15秒 |
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保管数 | 4〜12 FOUP |
標準据付調整時間 | 360分 |
装置改造 | 少ない(装置構造による) |