キャリア保管ストッカー装置｜半導体工場向け搬送システム｜製品情報｜クリーンFA

製品情報

クリーンルーム内の一時保管庫で、製造装置の処理完了タイミングと次工程製造装置の処理開始タイミングのズレを吸収するためなどを目的とします。
FOUPやRSPなどのキャリア保管ストッカーの他にも、装置前バッファ(TS300)など、用途に応じた幅広いバリエーションを用意しております。