半導体工場向け搬送システム 【保管・バッファ装置】

OHB (Over Head Buffer) 軌道バッファ

OHTの軌道下または軌道績に設置されたFOUPの仮置き棚。FOUPに常時アクセスができ、複数箇所でのビークルの分散移載が可能で搬送時間が短く、渋滞を発生させません。中空に保管されるため、フロアスペースが不要かつストッカーの容量が削減できます。