保管システム・バッファ（機器）

キャリア保管ストッカー

クリーンルーム内の一時保管庫で、製造装置の処理完了タイミングと次工程製造装置の処理開始タイミングのズレを吸収することを目的とします。

◼︎クリーンストッカー【CDS350-M3】

・高い信頼性とサイクルタイム向上

・メンテナンス性向上

・デュアルクレーンに対応可能

・コンベアによる複雑なポート構成に対応

◼︎タワーストッカー【TW3】

・階間搬送

・高速昇降

・短時間での据付

・コンベヤによる複雑なポート構成に対応

OHB (Over Head Buffer) 軌道バッファ

OHTの軌道下または軌道績に設置されたFOUPの仮置き棚。FOUPに常時アクセスができ、複数箇所でのビークルの分散移載が可能で搬送時間が短く、渋滞を発生させません。中空に保管されるため、フロアスペースが不要かつストッカーの容量が削減できます。

装置前FOUPバッファ Tool Station TS300

◼︎装置前に後付け可能なFOUPバッファで生産ボトルネックに対応

製造装置のロードポートにかぶせる形で設置するバッファ装置です。
Tool Station はSEMI規格E15.1に準拠した装置に対してであれば、新ライン既存ライン問わず設置が可能です。
製造装置に最も近い位置でキャリア(FOUP)がバッファされ、また装置各々に独立した移載装置を設置する事により、処理完了FOUP取り去りから次処理FOUP供給まで、いわゆる「FOUP入替時間」の短縮を実現し、検査時間の短い検査装置の稼働率向上などを志向しています。

◼︎TS300

・4列×3段バッファ（最大）にて一時保管

・N2パージ対応可能（オプション）

・メンテナンス時の取り外し、再設置が容易で各10分以内で可

◼︎TS300 システム仕様

サイクルタイム	15秒
保管数	4〜12 FOUP
標準据付調整時間	360分
装置改造	少ない（装置構造による）

N2パージ

プロセスの微細化に伴いプロセス工程間の酸化及び水分や周囲の雰囲気による品質影響対策が必要とされる中、ストッカー・バッファ装置への容易なレトロフィットとしてN2パージがあります。N2パージでプロセス工程間の時間制限を緩和でき、歩留低下を防止します。

ベアウエハストッカー　CDWX

◼︎ウエハを専用ケース（セル）で高密度に保管

CDWXはFOUPからウエハを取り出し、専用のケース（セル）で高密度に保管するシステムです。ウエハをハンドリングロボットで専用のリングに一枚ずつセットし、25枚のリングを１つのセルとして棚で保管。リング形状を工夫することで保管時のセル内のウエハの間隔を約3.7mmとし、ウエハの搬送容器であるFOUP（ウエハの間隔＝10mm）と比較して高密度での保管が可能です。

◼︎CDWXの特徴

セルは、リングへのウエハのセット時や取り出し時は、リングの上下ピッチを拡げた状態で行い、作業終了後にセルのピッチを元に戻すことで、ハンドリングロボットによる作業性と保管時の省スペースを両立しています。

高密度保管

ウエハのピッチをFOUP比で約6割削減

高クリーン度

最小空間に理想的なウエハ保管環境（クリーン／パージ）を実現

メンテナンス性

装置稼働中にウエハセルをExchange Portから出庫可能

出庫されたウエハセルは、専用治具に入れ、FOUP洗浄機で洗浄が可能

フレキシブルなシステム仕様