半導体工場向け搬送システム 【保管・バッファ装置】

ベアウエハストッカー CDWX

ウエハを専用ケース(セル)で高密度に保管

CDWXはFOUPからウエハを取り出し、専用のケース(セル)で高密度に保管するシステムです。ウエハをハンドリングロボットで専用のリングに一枚ずつセットし、25枚のリングを1つのセルとして棚で保管。リング形状を工夫することで保管時のセル内のウエハの間隔を約3.7mmとし、ウエハの搬送容器であるFOUP(ウエハの間隔=10mm)と比較して高密度での保管が可能です。
CDWX

CDWXの特徴

セルは、リングへのウエハのセット時や取り出し時は、リングの上下ピッチを拡げた状態で行い、作業終了後にセルのピッチを元に戻すことで、ハンドリングロボットによる作業性と保管時の省スペースを両立しています。

 

 

高密度保管

ウエハのピッチをFOUP比で約6割削減

 

高クリーン度

最小空間に理想的なウエハ保管環境(クリーン/パージ)を実現

 

 

 

メンテナンス性  

装置稼働中にウエハセルをExchange Portから出庫可能

  出庫されたウエハセルは、専用治具に入れ、FOUP洗浄機で洗浄が可能

 

 

フレキシブルなシステム仕様

CDWX システム仕様

床面積

約 9.8 m²

保管枚数

1,725-4,325枚(~最大20,825枚)

機械寸法

W:3,038 mm(~最大10,200mm)
D:3,226 mm

H:3,150 mm(min) - 4,490 mm(max)  *FFU含む