半導体工場向け搬送システム 【保管・バッファ装置】

N₂パージ

プロセスの微細化に伴いプロセス工程間の酸化及び水分や周囲の雰囲気による品質影響対策が必要とされる中、ストッカー・バッファ装置への容易なレトロフィットとしてN₂パージがあります。N₂パージでプロセス工程間の時間制限を緩和でき、歩留低下を防止します。

• レシピ指示による流量コントロール。（リモート設定可能）
• FOUPメーカー数社への対応実績有。
• プレパージ機能により品質を維持。
• 内製ノズルにより高効率パージを実現。（パージ効率90％以上）