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> FPD工場向け搬送システム[OHS]
OHS(Over Head Shuttle 天井走行式シャトル)
複数のストッカー間でFPDパネル用カセットを搬送する天井走行式自動搬送台車です。OHSとはOverHead Shuttleの略です。非接触給電方式の採用で防塵性能をさらに高めています。また、新ステアリング方式にて、装置配置、搬送効率を考慮したフレキシブルなレイアウト構築が可能となり、台車の高速化と併せて、高能力搬送を実現しています。