クリーンルーム内の一時保管庫で、製造装置の処理完了タイミングと次工程製造装置の処理開始タイミングのズレを吸収するためなどを目的とします。FOUPやRSPなどのキャリア保管ストッカーの他にも、装置前バッファ(TS300)や高密度保管かつパージ機能を有するレチクルストッカー（CDRX）など、用途に応じた幅広いバリエーションを用意しております。

製造装置のロードポートにかぶせる形で設置するバッファ装置です。TS300とはTool Station 300の略です。SEMI規格E15.1に準拠した装置に対してであれば、新ライン既存ライン問わず設置が可能です。製造装置に最も近い位置でキャリ ア(FOUP)がバッファされ、また装置各々に独立した移載装置を設置する事により、処理完了FOUP取り去りから次処理FOUP供給まで、いわゆる「FOUP入替時間」の短縮を実現し、検査時間の短い検査装置の稼働率向上などを志向しています。

CDRXはReticleガラスとPODを別々に保管するコンビネーション保管システムです。Reticleガラスは独自の局所クリーン技術により塵や化 学汚染から隔離された安全な状態で保管され、近年様々な工場で問題視されはじめているHAZE問題を引き起こしにくくしています。