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搬送制御・管理システム
搬送制御・管理システム
半導体工場内の搬送・保管装置を統括制御する自動搬送装置統合管理システムです。
工場内のあらゆる搬送・保管を各種搬送装置に指示、システム内の搬送物のトラッキングを実現するなど、お客様の様々なニーズにフレキシブルに対応します。
・MESからの搬送要求を各MCSに振り分ける役割
・各MCSの報告を中継しMESへ報告
・MESは各MCSを意識せず搬送要求が可能
・複数の棟間接続経路を選択し、MCSを跨ぐ搬送が可能
・棟間搬送のために追加のMES設置やキャリア情報の受け渡しは不要
・CORBA通信を使用してMESおよび下位MCSと接続