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搬送制御・管理システム

搬送制御・管理システム

半導体工場内の搬送・保管装置を統括制御する自動搬送装置統合管理システムです。

MCS(Material Control System)

工場内のあらゆる搬送・保管を各種搬送装置に指示、システム内の搬送物のトラッキングを実現するなど、お客様の様々なニーズにフレキシブルに対応します。

MDS(Material Dispatching System)

◼︎MESに対して複数FABを一つに見せる

・MESからの搬送要求を各MCSに振り分ける役割

・各MCSの報告を中継しMESへ報告

◼︎棟間搬送

・MESは各MCSを意識せず搬送要求が可能

・複数の棟間接続経路を選択し、MCSを跨ぐ搬送が可能

・棟間搬送のために追加のMES設置やキャリア情報の受け渡しは不要

◼︎システム間の通信

・CORBA通信を使用してMESおよび下位MCSと接続

システム間の通信