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事業沿革

事業沿革

1985年

物流システム部(現L&A事業部)内にクリーン技術部発足

1986年

「スカイラブクリーン」開発  クリーンルーム向け搬送機器分野に参入

スカイラブクリーン
1989年

多関節ロボット搭載無人搬送車「モービルロボット」開発

モービルロボット
1993年

液晶パネル工場向け搬送システムを納入

液晶パネル工場向け搬送システム
1997年

クリーンシステム事業部設立

1998年

世界初300mmウエハ製造ライン向け搬送システムをドイツの半導体メーカーから受注

世界初300mmウエハ製造ライン向け搬送システム
2002年

物流システム事業部とクリーンシステム事業部を統合し、L&A事業部を設立

2002年

神鋼電機(現シンフォニアテクノロジー)のクリーンルーム向け搬送システム事業が独立、米アシストテクノロジーズ社と共同で「アシストシンコー(株)」設立

2003年

OHT「SRCシリーズ」開発スタート

OHT「SRCシリーズ」
2009年

アシストテクノロジーズジャパン(株)より事業譲受  クリーンシステム事業部と統合し「ムラテックオートメーション(株)」を設立

2009年

装置前FOUPバッファ「TS300」発売

TS300
2012年

ムラテックオートメーション(株)を村田機械に統合し、クリーンFA事業部を設立

村田機械
2014年

犬山事業所内に実験・ショールーム棟「テクノスクエア」完成

テクノスクエア
2015年

OHT(天井走行式無人搬送車)「G3-3X」発売

G3-3X
2017年

OHT(天井走行式無人搬送車)「SRC-350X」発売

SRC-350X
2018年

伊勢事業所を移転

伊勢事業所
2019年

ベアウエハストッカー「CDWX」発売

CDWX
2022年

Panel FOUP OHT発売

Panel FOUP OHT