事業沿革

物流システム部（現L＆A事業部）内にクリーン技術部発足

「スカイラブクリーン」開発　 クリーンルーム向け搬送機器分野に参入

多関節ロボット搭載無人搬送車「モービルロボット」開発

液晶パネル工場向け搬送システムを納入

クリーンシステム事業部設立

世界初300ｍｍウエハ製造ライン向け搬送システムをドイツの半導体メーカーから受注

物流システム事業部とクリーンシステム事業部を統合し、L&A事業部を設立

神鋼電機（現シンフォニアテクノロジー）のクリーンルーム向け搬送システム事業が独立、米アシストテクノロジーズ社と共同で「アシストシンコー（株）」設立

OHT「SRCシリーズ」開発スタート

アシストテクノロジーズジャパン（株）より事業譲受 　クリーンシステム事業部と統合し「ムラテックオートメーション（株）」を設立

装置前FOUPバッファ「TS300」発売

ムラテックオートメーション（株）を村田機械に統合し、クリーンFA事業部を設立

犬山事業所内に実験・ショールーム棟「テクノスクエア」完成

OHT（天井走行式無人搬送車）「G3-3X」発売

OHT（天井走行式無人搬送車）「SRC-350X」発売

伊勢事業所を移転

ベアウエハストッカー「CDWX」発売

Panel FOUP OHT発売