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搬送装置(OHT、VT）
Clean AMHS
搬送装置(OHT、VT）
天井に設置した軌道を走行し、ベルト駆動で上下するホイスト機構により保管設備や製造装置のロードポートに"ダイレクトに"アクセスする自動搬送装置です。
OHTとはOverhead Hoist Transportの略です。300mm半導体工場以降の主力搬送システムとして広く認知されており、現在では工程内搬送のみに留まらず工程間や工場間搬送にまで利用されています。
多関節のロボットアームを搭載した、保管設備や製造装置へ"ダイレクトに"アクセスする床上走行の自動搬送装置です。
AGVとはAutomated Guided Vehicleの略です。高精度なナビゲーションシステムにより複雑なルートをフレキシブルに走行、製造装置などへのキャリア搬送を行います。
FOUPの大量搬送に対応するコンベアシステムです。ユニットの組み合わせによりレイアウトの自由度が高く、OHTやVertical Conveyorにも接続可能。また、すべてのキャリアの位置を常時監視することより、キャリアロスを発生させません。
