後工程対応システム

PLP(Panel FOUP OHT パネルレベルパッケージ搬送台車)　

ムラテックのPLP搬送は、300mmFOUP搬送用のビークルとPLP FOUP搬送用のビークルが同一軌道上で走行・運用可能です。
300mmFOUP搬送で培った技術をPLP搬送に活用することにより、高い信頼性とシステムの共通化を実現しています。

◼︎パネルレベルパッケージ搬送台車 SRC600

多様なキャリアにも対応可能