半導体工場向け搬送システム
ウエハN2パージ
プロセスの微細化に伴いプロセス工程間の時間管理が必要となり、酸化及び水分や周囲の雰囲気による品質影響対策が必要とされる中、既設ストッカーへの容易なレトロフィットとしてウエハN2パージがあります。N2パージでプロセス工程間の時間制限を緩和でき、歩留低下を防止します。
- 薄型パージユニットにより棚ピッチを 維持。（高効率収納）
- レシピ指示による流量コントロール。（リモート設定可能）
- FOUPメーカー数社への対応実績有。
- プレパージ機能により品質を維持。
- 内製ノズルにより高効率パージを実現。（パージ効率90％以上）
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