天井に設置した軌道を走行する自動搬送装置です。 OHSとはOver Head Shuttleの略です。主に製造プロセス群（成膜、洗浄等）用に各々配置された保管設備（ストッカー等）間の搬送を受け持つ為、工程間搬送装置と言われる事もあります。
