Clean FA
止まらない工場を
支える
今や社会に欠かせない存在になった半導体は、
高度なクリーン環境で、数百にもおよぶ工程を経て生産されます。
ムラテックの半導体工場向け搬送システムは、
空間を活用した天井搬送で工程間の搬送効率を極限まで効率化し、
24時間365日止まることのない半導体工場で求められる
高い信頼性を実現しています。
多数の工程をつなぐ半導体工場内の搬送システムには、高い信頼性と安定性が求められます。
それを実現するのは、搬送車の動作性能だけでなく、最適経路をリアルタイムで導きだす渋滞回避や多数の搬送車を最適配置する群制御など、高いシステム制御技術です。
また、万一の際のレジリエンスや設計面での安全性も担保したシステムを提供しています。
OHT
AGV
OHT（天井走行式無人搬送車）、AGV（無人搬送車）、HTC（コンベア搬送）
キャリア保管ストッカー
ベアウエハストッカー
キャリア保管ストッカー、ベアウエハストッカー、OHB軌道バッファ、装置前FOUPバッファ、N２パージ
MCS（Material Control System）、MDS（MCS Dispatching System）
搬送システムの核となる天井走行台車（OHT）は、広大な工場内の工程間をつなぎ、階や建屋をまたいで張り巡らされたレール上を、半導体材料であるウエハを専用容器（FOUP）に入れて運びます。工程ごとの製造進捗状況に合わせて稼働するストッカやバッファなどの保管装置を組み合わせ、最適な生産ラインを構築します。
